螺桿真空泵的優點和結構特點目前，各種真空泵的發展越來越受到真空應用的影響，一般的真空系統不能滿足清潔油和耐腐蝕的要求，所以螺桿真空泵市場近年來需求很大，真空產品升級的情況下，有很多有油真空系統已經被無油清潔真空系統所取代。國外幾乎每家大型真空公司都生產各種型號的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸式干式泵，是20世紀初出現的一種理想泵，以其泵送轉速范圍寬、結構簡單緊湊、吸腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油品污染等優點得到了廣泛的應用。
干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐、美、日等行業已成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業的真空設備，日本在螺桿壓縮機的基礎上，很早就研制出多轉子型真空泵，并投入市場。幾家真空設備公司逐漸開發出定距和變距轉子型線，并對轉子和機體冷卻做了大量的研究。2008年，中國企業也進入了螺桿真空泵的批量生產，在化工、醫藥等行業得到了很好的應用。
傳動軸與主動轉子連接，由同步齒輪帶動從動轉子轉動。殼體上設有冷卻水道，用于冷卻轉子和排氣口的溫度。同步齒輪、軸承用油潤滑，軸承、軸承座采用密封件密封，達到無油的效果。干式螺桿真空泵在密封和潤滑結構上與無油螺桿壓縮機相似。一般真空泵的排氣端采用機械密封，進口側通常采用雙唇密封。在傳動方式上，目前常見的是電機直接連接，與聯軸器和轉子連接，很少用皮帶或傳動鏈傳動。
等螺桿泵由于沒有內部壓縮過程，排氣溫度很高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響泵送效果。冷卻外殼是機器的一部分。水冷卻是一種常見的方法。冷卻水通過殼體體和軸承外部，可以達到冷卻殼體，然后冷卻轉子的目的。螺桿真空泵是一種旋轉變容積氣體輸送泵，螺桿真空泵在使用前有泵，使用壓力范圍大，抽速大，對氣體中不含粉塵和水蒸氣敏感，廣泛應用于冶金、化工、食品、電子涂料等行業。
螺桿真空泵的發展包括干螺桿泵、水環泵、往復式泵、滑閥泵、旋轉葉片泵、羅茨泵和擴散泵等。該系列真空泵是國民經濟各行業應用真空過程中必不可少的主泵。近年來，隨著中國經濟的持續快速發展，與真空泵相關的下游應用行業保持著快速增長的勢頭，而真空泵行業在真空泵應用領域的共同發展中實現了持續穩定的發展。螺桿真空泵速度大，壓力范圍寬;轉子具有良好的幾何對稱性，振動小，運行穩定。轉子與轉子與殼體之間有間隙，無需潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而達到更高的轉速;泵腔內無需油封潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染;無壓縮。